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碘發(fā)生器 實(shí)驗(yàn)室設(shè)備采用梯度熱升華耦合氣態(tài)分流技術(shù),在密閉聚四氟反應(yīng)腔內(nèi)通過(guò)多級(jí)加熱模塊將碘晶體逐步升華,配合PID溫控系統(tǒng)確保碘蒸汽生成速率恒定;雙通道質(zhì)量流量控制器(MFC)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并調(diào)節(jié)輸出氣體濃度,使碘蒸汽純度高達(dá)99.95%。
碘蒸汽發(fā)生器采用梯度熱升華耦合氣態(tài)分流技術(shù),在密閉聚四氟反應(yīng)腔內(nèi)通過(guò)多級(jí)加熱模塊將碘晶體逐步升華,配合PID溫控系統(tǒng)確保碘蒸汽生成速率恒定;雙通道質(zhì)量流量控制器(MFC)可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并調(diào)節(jié)輸出氣體濃度,使碘蒸汽純度高達(dá)99.95%。